深さ方向集合組織の測定方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小林英一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-339799
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178675
出願日： 1995年12月27日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】多結晶の各種試料に対し、材料を加工することなく、また無秩序配向試料を使用することなく、簡便にかつ正確に、同一位置における深さ方向の結晶配向度の分布を測定することができる深さ方向集合組織の測定方法を提供する。【解決手段】測定試料面に対し所定の入射角で連続X線を照射し、該入射角X線について得られる回折X線を同一受光角で複数の受光位置で検出し、エネルギー分光して特定の格子面からの回折X線強度を求め、ついで受光位置でのX線回折領域の解析により得られる特定の格子面からの理論回折強度を算出し、これらの比から各深さでのランダム強度比を求める。

請求項（抜粋）：

測定試料面に所定の入射角(θ)で連続X線を照射し、該入射X線について得られる回折X線を同一受光角で複数の受光位置で検出し、エネルギー分光して特定の格子面(hkl )からの回折X線強度(Ihkl )を求め、ついで上記各受光位置に対応する特定深さ位置(ti )についての格子面(hkl )からの理論回折強度IRhkl(ti )を下記(1) ,(2) 式により算出し、上記理論回折強度に対する上記測定試料の回折X線強度の比から、各受光位置に対応する特定深さ位置におけるランダム強度比を算出し、上記ランダム強度比から深さ方向について上記特定の格子面の配向度を求めることを特徴とする深さ方向集合組織の測定方法。記【数1】

前のページに戻る