特許

J-GLOBAL ID：200903010550144922

搬送装置

発明者： 平川 伸一 ,  中原 兼文 ,  遠藤 豊
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-311519
公開番号（公開出願番号）：特開平10-152223
出願日： 1996年11月22日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：

【要約】【課題】 チャンバー内の塵、ほこりの除去を効率良く行うことができるような搬送装置を得る。【解決手段】 レチクルを収納する収納分離ユニット23(および収納容器21,22)とレチクルを用いてウエハWへの露光処理を施す露光装置40との間でレチクルを搬送する搬送系30とを有して露光装置が構成される。この装置には、収納分離ユニット23等を包囲するチャンバー10が設けられ、収納分離ユニット23の近傍に設けられてチャンバー10内における少なくとも収納分離ユニット23の周辺部を排気する第1排気装置18a〜18cと、露光装置40の近傍に配設されて少なくともその周辺部を排気する第2排気装置19とを有する。ここで摺動部を有して塵、ほこりのでやすい収納分離ユニット23の周囲を第1排気装置18a〜18cにより排気してチャンバー内をクリーンに保つことができる。

請求項（抜粋）：

原板を収納する原板収納手段と前記原板を用いて所定の処理を施す処理装置との間で前記原板を搬送する搬送装置において、少なくとも前記原板収納手段を包囲するチャンバーと、前記原板収納手段の近傍に設けられ、前記チャンバー内において少なくとも前記原板収納手段の周辺部を排気する第1排気装置とを設けたことを特徴とする搬送装置。

IPC (4件)：

B65G 49/00 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

B65G 49/00 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 502 J