液晶表示装置及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大岩増雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-221457
公開番号（公開出願番号）：特開2001-042304
出願日： 1999年08月04日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】従来の液晶表示装置の製造方法では、画素電極に凹凸を形成するには、複雑なマスクを製造する必要があり、高価且つ困難であった。【解決手段】絶縁性基板1上に形成されたTFT上に形成され、TFTと整合するようにコンタクトホール12が形成された層間絶縁膜11が、同じUV感度を有する感光性樹脂からなる第一の層間絶縁膜11aと第二の層間絶縁膜11bによって構成され、第二の層間絶縁膜11bを露光することによって、第一の層間絶縁膜11aによって高さが規制された凹凸パターンを形成し、この第二の層間絶縁膜11b上にコンタクトホール12を介してTFTに接続された反射画素電極13を形成したものである。

請求項（抜粋）：

複数の走査線と、この走査線に交差するように形成された複数の信号線の交点に配置されたスイッチング素子が形成された基板を有する液晶表示装置において、上記基板上のスイッチング素子上に形成され、基板と反対側の面に凹凸が形成されると共に上記スイッチング素子と整合するようにコンタクトホールが形成された層間絶縁膜、この層間絶縁膜の凹凸面上に形成され、上記層間絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して上記スイッチング素子に接続された画素電極を備え、上記層間絶縁膜は上記スイッチング素子上に形成された第一の感光性樹脂層及びこの第一の感光性樹脂層上に形成された第二の感光性樹脂層によって構成されていることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (6件)：

G02F 1/1333 505 , G02F 1/1335 525 , G09F 9/30 348 , G09F 9/30 349 , H01L 29/786 , H01L 21/336

FI (5件)：

G02F 1/1333 505 , G02F 1/1335 525 , G09F 9/30 348 A , G09F 9/30 349 D , H01L 29/78 612 D

Fターム (47件)：

2H090HA06 , 2H090HB07X , 2H090LA01 , 2H090LA20 , 2H091FA16Z , 2H091GA07 , 2H091LA12 , 2H091LA16 , 2H091LA17 , 5C094AA43 , 5C094AA44 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA15 , 5C094EA03 , 5C094EA04 , 5C094EA06 , 5C094EA07 , 5C094FA04 , 5C094FB01 , 5C094FB20 , 5C094GB01 , 5F110AA09 , 5F110AA18 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110EE04 , 5F110EE44 , 5F110FF03 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG45 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK33 , 5F110HK35 , 5F110HM04 , 5F110NN03 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN35 , 5F110NN36 , 5F110NN40 , 5F110QQ09 , 5F110QQ19

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