ノズルおよびそれを用いた基板処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲岡耕作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-266295
公開番号（公開出願番号）：特開平10-113578
出願日： 1996年10月07日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【課題】流体を汚染することのないノズルを提供する。【解決手段】ノズル1は、接ぎ手11および吐出部材12を備えている。ノズル11の一端には配管接続部15が設けられており、他端には吐出部材接続部16が設けられている。この吐出部材接続部16に吐出部材12が回動自在に取り付けられている。吐出部材12は、ボール部12aと吐出部12bとを一体形成して構成されている。配管接続部15には、接続部材31を用いて配管30が接続される。すなわち、配管30の先端の周部が接続部材31と配管接続部15との間に挟持されることにより、配管30の接続が達成される。流体が流通する経路には、ねじ面が存在しない。【効果】処理流体の経路にねじ面が無いから、パーティクルや汚染物質が処理流体中に流出することがない。

請求項（抜粋）：

流体を流通させるための流通経路を内部に有し、その流通経路の一方側に配管接続部を有するとともに、上記流通経路の他方側に吐出部材接続部を有する接ぎ手と、上記流通経路の吐出部材接続部に回転自在に接続され、上記流通経路を通って供給される流体を吐出するための流体吐出部材とを備え、上記配管接続部から上記流体吐出部材に至る流体の経路は、ねじ面の無い流体接触面により形成されていることを特徴とするノズル。

IPC (5件)：

B05B 1/00 , B05C 11/08 , B08B 3/02 , H01L 21/304 341 , H01L 21/306

FI (5件)：

B05B 1/00 Z , B05C 11/08 , B08B 3/02 F , H01L 21/304 341 N , H01L 21/306 J

前のページに戻る