特許

J-GLOBAL ID：200903010566254280

磁気抵抗効果膜、磁気抵抗効果型ヘッド及び磁気記録再生装置

発明者： 中谷 亮一 ,  星野 勝美 ,  星屋 裕之 ,  濱川 佳弘 ,  鈴木 良夫
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-012881
公開番号（公開出願番号）：特開平7-220246
出願日： 1994年02月04日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：

【要約】【目的】 酸化物系反強磁性材料を用いた多層膜磁気抵抗効果素子の構造を提供する。【構成】 磁気抵抗効果材料として、1層の磁性層に反強磁性層からの交換バイアス磁界を印加し、1層の磁性層には直接には反強磁性層からの交換バイアス磁界を印加しない多層膜を用いた磁気抵抗効果型ヘッドにおいて、酸化物を主成分とする高耐食性の反強磁性層16を、多層膜を形成した基板11から見て上記2層の磁性層13,15よりも遠い側に形成する。さらに、電極を形成する部分の反強磁性層を除去した後、電極17,17を形成する。【効果】 本発明の磁気抵抗効果素子は、高感度及び優れた軟磁気特性を示す。また、誘導型磁気ヘッドと組み合わせることにより、高密度磁気記録再生装置に有利な高性能磁気ヘッドを得ることができる。

請求項（抜粋）：

基板上に設けられた2層の磁性層と、前記2層の磁性層の間に設けられた非磁性層と、前記2層の磁性層のうちの一方の磁性層に接触して設けられた反強磁性層とを含む多層膜からなり、前記反強磁性層は酸化物を主成分とし前記基板に対して前記2層の磁性層よりも遠い側に設けられており、前記反強磁性層に接触していない磁性層と前記基板との間には反強磁性層が設けられていないことを特徴とする多層磁気抵抗効果膜。

IPC (5件)：

G11B 5/39 ,  G01R 33/09 ,  G11B 5/02 ,  H01F 10/00 ,  H01L 43/08