特許

J-GLOBAL ID：200903010566292883

レーザ装置、レーザ加工装置および非球面レンズ

発明者： 今野 進 ,  熊本 健二 ,  岩城 邦明 ,  西前 順一 ,  小島 哲夫
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-308034
公開番号（公開出願番号）：特開2001-129679
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月15日
要約：

【要約】【課題】 レーザ加工を行う場合に、熱影響の小さい加工を行うことができるビーム強度分布を得ること、その他、加工に適したビーム強度分布を得ること。【解決手段】 レーザ発振器から発生したレーザビームの光軸上に配置された非球面レンズによって、この非球面レンズに入射するレーザビームの強度分布を、周辺部にエネルギーが偏った強度分布に変換する。

請求項（抜粋）：

レーザ発振器から発生したレーザビームの光路上に配置されたビーム強度分布変換光学素子を備え、このビーム強度分布変換光学素子に入射するレーザビームの強度分布を、レーザビーム光路上のビーム強度分布形成位置におけるレーザビーム強度分布が、全ビームエネルギーの90%のエネルギーが含まれる円の半径をa<SB>2</SB>として、半径a<SB>1</SB>(a<SB>1</SB><a<SB>2</SB>)の円内に含まれるエネルギーをE<SB>1</SB>、半径a<SB>1</SB>の円から半径a<SB>2</SB>の円の間に含まれるエネルギーをE<SB>2</SB>とした場合、E<SB>1</SB>/E<SB>2</SB><a<SB>1</SB><SP>2</SP>/(1.5*(a<SB>2</SB><SP>2</SP>-a<SB>1</SB><SP>2</SP>))となるよう変換することを特徴とするレーザ装置。

IPC (3件)：

B23K 26/06 ,  G02B 3/00 ,  G02B 13/18

FI (4件)：

B23K 26/06 E ,  B23K 26/06 Z ,  G02B 3/00 A ,  G02B 13/18

Fターム (5件)：

2H087KA26 ,  2H087RA01 ,  4E068CD05 ,  4E068CD10 ,  4E068CD13

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭60-052816
  
• バイナリーオプティクス及びそれを用いたレーザ加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-083969   出願人：新日本製鐵株式会社

審査官引用 (2件)

• バイナリーオプティクス及びそれを用いたレーザ加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-083969   出願人：新日本製鐵株式会社
• 特開昭64-007612