特許

J-GLOBAL ID：200903010568328060

基板表面電位測定方法及びプラズマ装置

発明者： 相原 正己 ,  佐々木 真 ,  福井 洋文 ,  笠間 泰彦 ,  福田 航一 ,  大見 忠弘
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社 ,  大見 忠弘
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-282724
公開番号（公開出願番号）：特開平7-135180
出願日： 1993年11月11日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、絶縁性を有する基板の表面電位を正確に測定してイオンエネルギを正確に測定し、更にはイオンエネルギの制御可能なプラズマ装置を提供することを目的とする。【構成】 本発明のプラズマ装置は、真空室内にプラズマ励起電極105とこのプラズマ励起電極に対向して絶縁性を有する基板104を保持する対向電極102を設け、プラズマと接触する対向電極102の領域を少なくとも絶縁物103によって覆い、対向電極102をコンデンサ112を介して接地し、コンデンサ112と対向電極102との間にこれらコンデンサと対向電極間の電位を測定する電位測定手段118、117、115、116を設けてなり、電位測定手段によって測定される対向電極102の電位から基板の表面電位を求めることができるものである。

請求項（抜粋）：

プラズマ装置の基板表面電位を測定する基板表面電位測定装置であって、基板を保持するサセプタ電極に電気的に接続するための端子と、前記端子とアース間に設けられた第1のコンデンサと、前記端子の電位測定手段とを有し、前記電位測定手段により測定されるサセプタ電極の電位から前記基板の表面電位を求めることを特徴とする基板表面電位測定装置。

IPC (3件)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/3065

FI (2件)：

H01L 21/302 B ,  H01L 21/302 H