特許
J-GLOBAL ID：200903010572458890
外観検査方法及びそれに用いる外観検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高月 猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-323414
公開番号（公開出願番号）：特開平7-151693
出願日： 1993年11月30日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：
【要約】【目的】ICリードフレームにおけるエッチピットのような欠陥を付着物と明確に区別して検出できる外観検査方法及びそれに用いる外観検査装置の提供。【構成】偏光照明系15による偏光化させた照明光で照明した検査対象物を検査対象物からの映像光から偏光成分を除去可能な偏光素子11を介して検査用カメラ10で撮像した偏光照明画像と暗視野照明系17で照明して得られる暗視野照明画像とをそれぞれ取り込み、この各画像について欠陥部分及び付着物それぞれの像の明るさの差を比較分析することにより、これらの区別を行なうようにしている。
請求項（抜粋）：
照明系で照明しつつ撮像系で撮像した画像を処理して検査対象物の外観検査を行うようにしてなる外観検査方法において、偏光で照明した検査対象物を検査対象物からの映像光から偏光成分を除去可能な偏光素子を介して撮像した偏光照明画像と暗視野照明で照明して得られる暗視野照明画像とを比較分析して検査対象物の表面の欠陥を検出するようにしたことを特徴とする外観検査方法。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, H01L 21/66
