特許

J-GLOBAL ID：200903010576339853

流量検出装置

発明者： 橋口 健二 ,  大村 雄厚 ,  小林 正樹
出願人/特許権者： 株式会社コガネイ
代理人 (1件)： 筒井 大和 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-314857
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133302
出願日： 1999年11月05日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】【課題】 小型の装置によって流路内に流体が流れているか否かあるいはその量を検出し得るようにする。【解決手段】 流量検出装置は流路内に配置されるシリコンダイヤフラム17を有し、シリコンダイヤフラム17は流体貫通孔19が形成されるとともにピエゾ抵抗体が設けられたセンサ部18を有している。流路内を流れる流体が流体貫通孔19を流れるとシリコンダイヤフラム17のセンサ部18の歪みに応じてピエゾ抵抗体の抵抗値が変化し、抵抗値の変化から流路内の流体の流量が検出される。シリコンダイヤフラム17は上流側のジョイント部13と下流側のジョイント部15とを有するハウジング内にガラス台座21を介して取り付けられる。

請求項（抜粋）：

流体貫通孔が形成されるとともにピエゾ抵抗体が設けられたセンサ部を有するシリコンダイヤフラムを流体が流れる流路内に配置し、前記シリコンダイヤフラムの歪みに応じた前記ピエゾ抵抗体の抵抗値の変化によって前記流路内の流体の流量を検出するようにしたことを特徴とする流量検出装置。

Fターム (4件)：

2F030CA10 ,  2F030CC01 ,  2F030CC11 ,  2F030CH05