特許

J-GLOBAL ID：200903010576564725

フォトレジスト剥離剤組成物及びその使用方法

発明者： 安江 秀国 ,  小谷 武 ,  西嶋 佳孝 ,  宝山 隆博
出願人/特許権者： ナガセ化成工業株式会社
代理人 (1件)： 南條 博道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-393430
公開番号（公開出願番号）：特開2002-196509
出願日： 2000年12月25日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
要約：

【要約】【課題】 フォトレジスト剥離性に優るフォトレジスト剥離剤組成物を提供すること。【解決手段】 ケトンを除く極性有機溶剤と水と水加ヒドラジンとアルカリアミンまたはアルカノールアミンで、フォトレジスト剥離剤組成物を構成する。

請求項（抜粋）：

ケトンを除く極性有機溶剤、水、および水加ヒドラジンを含有するフォトレジスト剥離剤組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/42 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/308

FI (3件)：

G03F 7/42 ,  H01L 21/308 G ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (4件)：

2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096LA03 ,  5F043CC16