特許

J-GLOBAL ID：200903010587726859

枚葉化学処理装置と基板の処理方法

発明者： 川▲崎▼ 清弘
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 村山 光威
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-106830
公開番号（公開出願番号）：特開2000-301046
出願日： 1999年04月14日
公開日（公表日）： 2000年10月31日
要約：

【要約】【課題】 同一カップ状容器内で薬液処理と水洗処理とを行うスピン処理装置では薬液と処理水との効率的な分離が困難である。【解決手段】 底部に排液口51と、基板40の大きさよりも大きくカップ状容器28の内径よりも小さい上部開口部とを有し、内側50bまたは外側50aの何れか一方が昇降する二重円筒50をカップ状容器の底部に配置し、二重円筒の内側または外側の何れか一方を基板チック26よりも高くまたは低く位置させることで排液空間を二分し、各空間毎に処理を専用化する。

請求項（抜粋）：

カップ状容器内で基板を静止または回転させながら第1の薬液および第2の薬液または純水を滴下あるいは噴射して処理する枚葉化学処理装置において、底部に排液口と、基板の大きさよりも大きくカップ状容器の内径よりも小さい上部開口部とを有し、内側または外側の何れか一方が昇降する二重円筒を前記カップ状容器の底部に配置したことを特徴とする枚葉化学処理装置。

IPC (6件)：

B05C 11/08 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/40 ,  B05D 7/00 ,  G03F 7/30 502 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

B05C 11/08 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/40 A ,  B05D 7/00 H ,  G03F 7/30 502 ,  H01L 21/30 563

Fターム (16件)：

2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096GA02 ,  2H096GA17 ,  2H096GA18 ,  2H096GA29 ,  2H096GA30 ,  2H096GA33 ,  4D075AC64 ,  4D075AC94 ,  4D075DC22 ,  4F042AA07 ,  4F042BA05 ,  4F042EB07 ,  4F042EB26 ,  5F046HA03