特許
J-GLOBAL ID：200903010588119506
空間的に分解された光学的測定
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-531168
公開番号（公開出願番号）：特表2001-508340
出願日： 1998年01月09日
公開日（公表日）： 2001年06月26日
要約：
【要約】材料のサンプルの特性を、電磁放射線と前記サンプルとの相互作用により判定する方法及び装置を提供する。前記装置は、電磁放射線光源と、光学アセンブリと、検出器とを含む。光学アセンブリは、第1の光路中の第1の領域から実質的に単調に下降する前記サンプルにおける強度分布を有して、前記サンプルの複数の体積エレメントを順次照射し、かつ前記体積エレメントのそれぞれから発せられた電磁放射線を収集する。前記光学アセンブリは、第2の光路中の第2の領域から実質的に単調に下降する収集分布を有して、前記各体積エレメントから発せられた前記放射線を収集する。前記第1及び第2の領域は前記体積エレメントのそれぞれにおいて少なくとも部分的に重複する。前記検出器は、前記順次照射された体積エレメントのそれぞれから放射され収集された電磁放射線を検出し、前記体積エレメントのそれぞれにおける前記特性を表す応答を生成する。
請求項（抜粋）：
材料のサンプルの特性を電磁放射線と前記サンプルとの相互作用により判定する装置であって、 電磁波放射源と、 第1の光路中の第1の領域から実質的に単調に下降する前記サンプル中の強度分布を有して前記サンプルの複数の体積エレメントを順次照射する照射光学系と、 前記体積エレメントのそれぞれから放射された電磁放射線を収集させる収集光学系であって、この収集光学系は、第2の光路中の第2の領域から実質的に単調に下降する収集分布を有して前記各体積エレメントから発せられた前記放射線を収集し、前記第1及び第2の領域は、前記体積エレメントのそれぞれにおいて少なくとも部分的に重複し、前記照射及び収集光学系はそれぞれ視野絞りを有し、この視野絞りの大きさは、前記電磁放射線の波長をそれぞれの視野絞りから測定される前記照射及び収集光学系の各作業開口数で除した数に比べて大きい、収集光学系と、 前記順次照射された体積エレメントのそれぞれから放射された収集電磁放射線を検出し、前記体積エレメントのそれぞれにおける前記特性を表す応答を生成する検出器と、 を含む装置。
IPC (4件)：
A61B 10/00
, A61B 1/00 300
, G01N 21/27
, G01N 21/64
A61B 10/00 E
, A61B 1/00 300 D
, G01N 21/27 Z
, G01N 21/64 Z
