特許
J-GLOBAL ID：200903010589945400
フィルム張付装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
松山 圭佑 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-235831
公開番号（公開出願番号）：特開平11-077942
出願日： 1997年09月01日
公開日（公表日）： 1999年03月23日
要約：
【要約】【課題】 フィルム張付装置においてフィルムをラミネーションロールに均一な状態及び温度分布で押し付けて、基板への張付後の皺発生を防止する。【解決手段】 フィルム張付装置10におけるラミネーションロール22Bの入側に設けた気体吹き付け部材28により、ラミネーションロール22Bと略等しい半径の凹円弧状面30の表面の複数の小孔から加圧気体を積層体フィルム14に吹き付けて、該積層体フィルム14をラミネーションロール22Bに偏りない押し付け状態及び温度分布状態とする。このとき、前記小孔は、ラミネーションロール円周方向に3列以上配置とし、該ラミネーションロール22Bの中心軸と直交する断面において、複数の小孔が存在しないように配置する。
請求項（抜粋）：
回転する一対の加熱されたラミネーションロール間に、基板搬送面に沿って基板を送り込み、且つ、該基板のフィルム張付面側のラミネーションロールの外周に沿って、前記基板と同期して、前記フィルム張付面に重なるようにしてフィルムを送り込み、該フィルムを前記フィルム張付面に張り付けるフィルム張付装置において、前記フィルム張付面側のラミネーションロールにおけるフィルム入側の円周角が30°〜90°の範囲の外周面と前記基板搬送面との間の隙間に出入り自在であって、前記外周面と略等しい半径の凹円弧状面と、この凹円弧状面に形成され、気体を吹き出す多数の小孔とを備えた気体吹き付け部材を設けてなり、前記小孔は凹円弧状面における円周方向に3列以上に配置され、且つ、各小孔は、前記ラミネーションロールの回転中心軸と直交する同一断面内に1個のみ存在するように配置されたことを特徴とするフィルム張付装置。
引用特許：
前のページに戻る
