特許

J-GLOBAL ID：200903010598150681

窒化珪素反応焼結体の製造方法

発明者： 浜崎 景久 ,  豊田 均 ,  三宅 一實
出願人/特許権者： 本田技研工業株式会社
代理人 (1件)： 下田 容一郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-304750
公開番号（公開出願番号）：特開平7-138074
出願日： 1993年11月10日
公開日（公表日）： 1995年05月30日
要約：

【要約】【目的】 最大300μmまでの超大粒径の珪素粉末を原料としつつ良好な焼結体を得る。【構成】 珪素粉末で成形体を製造し、この成形体を窒化処理し、この後に焼結処理をするものにおいて、珪素粉末の平均粒径を5〜300μmの範囲とし、更に窒化雰囲気を窒素ガスと水素ガスの混合ガスとするものであり、具体的には水素ガスの混合割合を20%以下に抑える。

請求項（抜粋）：

珪素粉末で成形体を製造し、この成形体を窒化処理し、この後に焼結処理をするものにおいて、前記珪素粉末の平均粒径を5〜300μmの範囲とし、更に窒化雰囲気を窒素ガスと水素ガスの混合ガスとしたことを特徴とする窒化珪素反応焼結体の製造方法。

IPC (3件)：

C04B 35/591 ,  C04B 35/626 ,  C04B 35/584

FI (3件)：

C04B 35/58 102 V ,  C04B 35/58 102 Q ,  C04B 35/58 102 T