特許

J-GLOBAL ID：200903010602496709

基板塗布用チャック

発明者： 大澤 光明
出願人/特許権者： エム・セテック株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-151766
公開番号（公開出願番号）：特開平9-007918
出願日： 1995年06月19日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【目的】 この発明は均一な塗布が可能なスピンナー方式の基板塗布用チャックである。【構成】 塗布時に略中心で被塗布用基板1を保持する上方が開放された基板保持部2aを有し、基板保持部2aの中心を回転軸として水平に回転する回転テーブル2と、回転テーブル2の上方に水平に回転自在かつ上下可動に設けられ、塗布時において回転テーブル2の開口部2eに接して回転テーブル2内の被塗布基板1を含む空間を密閉するとともに回転テーブル2の回転に従動して回転し、塗布時以外は上方に移動して基板保持部2aの上方を開放して被塗布用基板1の搬入出を可能にする回転蓋4を備えている。

請求項（抜粋）：

被塗布基板を水平に回転させながら塗布液を被塗布基板上に滴下する塗布方式の基板塗布用チャックであって、上方が開放された基板保持部を有し、塗布時に前記基板保持部の上面略中心に被塗布用基板を保持し前記基板保持部の中心を回転軸として水平に回転する回転テーブルと、前記回転テーブルの上方に水平に回転自在かつ上下可動に設けられ、塗布時において前記回転テーブルの外周部に接して前記基板保持部の被塗布基板を含む上方所要空間を密閉するとともに前記回転テーブルの回転に従動して回転し、塗布時以外は上方に移動して前記基板保持部の上方を開放する回転蓋と、を備えたことを特徴とする基板塗布用チャック。

IPC (6件)：

H01L 21/027 ,  B05C 11/08 ,  B05C 13/02 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/68 ,  B23Q 3/08

FI (6件)：

H01L 21/30 564 C ,  B05C 11/08 ,  B05C 13/02 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/68 P ,  B23Q 3/08 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-228575
  
• スピン式コーテイング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-312434   出願人：シヤープ株式会社
• 特開平4-122470