特許

J-GLOBAL ID：200903010604029199

照明装置及びそれを用いた投影露光装置

発明者： 高橋 和弘 ,  塩澤 崇永
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-041998
公開番号（公開出願番号）：特開平7-230949
出願日： 1994年02月16日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 パルス光源を用い露光量のばらつきの少ない走査型の照明装置及びそれを用いた投影露光装置を得る。【構成】 光源1からの光束をオプティカルインテグレータ3に入射させ、該オプティカルインテグレータの射出面に形成した2次光源面からの光束を照明光学系4を介して走査可能な被照射面を照射する際、該照明光学系は該被照射面の走査方向と該照明光学系4の光軸とを含む平面内で該2次光源面からの光束の主光線8aが該被照射面から光軸方向に所定の距離だけ離れた位置に集光するようにしている。

請求項（抜粋）：

光源からの光束をオプティカルインテグレータに入射させ、該オプティカルインテグレータの射出面に形成した2次光源面からの光束を照明光学系を介して走査可能な被照射面を照射する際、該照明光学系は該被照射面の走査方向と該照明光学系の光軸とを含む平面内で該2次光源面からの光束の主光線が該被照射面から光軸方向に所定の距離だけ離れた位置に集光するようにしていることを特徴とする照明装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/54 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 527 ,  H01L 21/30 515 B