特許

J-GLOBAL ID：200903010608477757

過酸化水素供給方法及び装置

発明者： 宮崎 敏英 ,  武内 英樹
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-289165
公開番号（公開出願番号）：特開平10-116812
出願日： 1996年10月11日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【課題】濃硫酸やアンモニアを含んだ洗浄液に過酸化水素を安全且つ高効率に供給する。【解決手段】貯留槽7に貯留させた過酸化水素液8を窒素又は不活性ガスにより加圧し、その圧力によって、洗浄液2の下部に配した供給口9から過酸化水素液8を洗浄液2中に供給する。

請求項（抜粋）：

酸又はアンモニアを含む洗浄液に過酸化水素を供給する過酸化水素供給方法において、過酸化水素液を窒素又は不活性ガスにより加圧しながら前記洗浄液の下部に供給することを特徴とする過酸化水素供給方法。

IPC (5件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  C02F 1/58 ,  C02F 1/58 CDJ ,  C02F 1/72 ZAB

FI (5件)：

H01L 21/304 341 T ,  H01L 21/304 341 S ,  C02F 1/58 H ,  C02F 1/58 CDJ P ,  C02F 1/72 ZAB B