特許
J-GLOBAL ID：200903010613188283
平行平板型振動ジャイロ及び平行平板型振動ジャイロ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-149099
公開番号（公開出願番号）：特開平11-344341
出願日： 1998年05月29日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：
【要約】【課題】検出部である平行平板部の変形時に、平行平板部の側面の各部において伸び縮みが逆であっても発生電圧が相殺されることがなく、大きな圧電信号を得ることができる平行平板型振動ジャイロ及び平行平板型振動ジャイロ装置を提供する。【解決手段】振動ジャイロ1のステンレス製の基材4は、四角柱をなし、同基材4の上下両部には、互いに直交する貫通孔10,7が穿設され、平行平板部3,2が構成されている。平行平板部2,3の外側面には、スパッタリング等によって、チタン膜13が形成され、チタン膜13の外面全体にはPZT薄膜14が形成され、そのPZT薄膜14上にはアルミニウムからなる厚さ数μmを有する互いに同面積の第1電極膜15〜第4電極膜18がそれぞれ上下一対形成されている。第1電極膜15、第2電極膜16を分離して電極膜の面積を従来よりも小さくし、発生電圧(圧電電圧)を大きくする。
請求項（抜粋）：
周方向に亘って第1乃至第4側面(5,6,105,106)を有し、第1側面(5)と第3側面(105)、第2側面(6)と第4側面(106)とは、互いに180度反対位置に位置する四角柱状の弾性金属(4)を備え、その弾性金属(4)の固定端部側には、第1側面(5)から第3側面(105)まで貫通する貫通孔(7)が形成されて、第2側面(6)と第4側面(106)を含むそれぞれの平板部にて第1平行平板部(2)が形成され、前記弾性金属(4)の自由端部側には、第2側面(6)から第4側面(106)まで貫通する貫通孔(10)が形成されて、第1側面(5)と第3側面(105)を含むそれぞれの平板部にて第2平行平板部(3)が形成され、第1平行平板部(2)の第2側面(6)と第4側面(106)、及び第2平行平板部(3)の第1側面(5)と第3側面(105)とには、それぞれ強誘電体膜(14)が形成され、第2平行平板部(3)の各強誘電体膜(14)上において、同強誘電体膜(14)の伸び縮み変形時に互いに逆変形となる部分に対応してそれぞれ第1電極(15)及び第2電極(16)が設けられ、 第1平行平板部(2)の各強誘電体膜(14)上において、電極(17,18)がそれぞれ設けられていることを特徴とする平行平板型振動ジャイロ。
IPC (3件)：
G01C 19/56
, H01L 41/09
, H01L 41/08
G01C 19/56
, H01L 41/08 C
, H01L 41/08 Z
