特許

J-GLOBAL ID：200903010614926881

振動アクチュエータ及びその調整方法

発明者： 戸部 通宏
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-345479
公開番号（公開出願番号）：特開平10-191663
出願日： 1996年12月25日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：

【要約】【課題】 平板状の振動子を備える振動アクチュエータでは、弾性体の製作誤差や圧電体3,4の特性のばらつき等により、左右方向への速度が必ずしも一致しない。【解決手段】 4枚の圧電体13を接合されて、1次の伸縮振動と4次の屈曲振動とを調和的に発生する振動子11と,振動子11に加圧接触して2方向への相対運動を発生する相対運動部材とを備える振動アクチュエータ10であって、弾性体12における屈曲振動の腹位置P1 ,P2 には、弾性体12の等価厚さを部分的に変更して2方向への相対運動の異方性を低減する屈曲振動振幅調整部15が、形成される。

請求項（抜粋）：

電気機械変換素子が接合されて、伸縮振動と屈曲振動とを発生する直方体状の振動子と,前記振動子に加圧接触して、少なくとも2方向への相対運動を発生する相対運動部材とを備える振動アクチュエータであって、前記振動子における前記屈曲振動の複数の腹位置の全部又は一部には、前記振動子の等価厚さを部分的に変更して前記2方向への前記相対運動の異方性を低減又は解消する屈曲振動振幅調整部が、形成されることを特徴とする振動アクチュエータ。