特許

J-GLOBAL ID：200903010615399109

タングステン/ポリシリコンゲートのエッチング方法

発明者： 釘宮 克尚
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 園田 吉隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-210306
公開番号（公開出願番号）：特開2002-043283
出願日： 2000年07月11日
公開日（公表日）： 2002年02月08日
要約：

【要約】【課題】 エッチングによるゲートオキサイドの破損を防止する。【解決手段】 NF3またはSF6ベースのエッチングガスに、CF系ガスを添加したエッチングガスを使用してタングステンのエッチングを行う。

請求項（抜粋）：

NF3またはSF6ベースのエッチングガスに、CF系ガスを添加したエッチングガスを使用してタングステンのエッチングを行うことを特徴とするタングステン/ポリシリコンゲートのエッチング方法。

IPC (4件)：

H01L 21/3065 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/28 301

FI (4件)：

C23F 4/00 E ,  H01L 21/28 F ,  H01L 21/28 301 A ,  H01L 21/302 F

Fターム (29件)：

4K057DA12 ,  4K057DB08 ,  4K057DD01 ,  4K057DD08 ,  4K057DE06 ,  4K057DE07 ,  4K057DE08 ,  4K057DE09 ,  4K057DG12 ,  4K057DN01 ,  4M104BB01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD67 ,  4M104FF13 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH14 ,  5F004AA05 ,  5F004CB01 ,  5F004DA01 ,  5F004DA02 ,  5F004DA15 ,  5F004DA16 ,  5F004DA17 ,  5F004DA18 ,  5F004DA30 ,  5F004DB10 ,  5F004EB02

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平4-096223
  
• エッチングガス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-353844   出願人：日本モトローラ株式会社

審査官引用 (1件)

• 特開平4-096223