特許
J-GLOBAL ID:200903010617456860

ビューファインダー用カラーフイルターの検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小西 淳美
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-055260
公開番号(公開出願番号):特開平8-226901
出願日: 1995年02月21日
公開日(公表日): 1996年09月03日
要約:
【要約】【目的】 ビューファインダー用カラーフイルターの全ての種類の欠陥検出ができ、且つ、良品と判定されたものを人手を介さず容器に移す手段を備えた、コンパクトなビューファインダー用カラーフイルターの自動外観検査装置を提供する。【構成】 透過およびまたは反射照明手段を用いて、XY駆動制御されたXYステージ上の透明な保持板上のビューファインダー用カラーフイルターを撮像し、撮像により得られた信号を画像処理手段により画像処理することにより、欠陥を検出する自動検査装置であって、XYステージを移動させることによって試料を視野に移動させ、透明な保持板上のビューファインダー用カラーフイルターを透過ないし反射照明手段を用いて観察する顕微鏡等の観察手段と、透明な保持板上に複数載せられているビューファインダー用カラーフイルターを容器に移す移載手段と、XYステージ、画像処理手段および移載手段を関連づけて動作制御する制御手段とを備えている。
請求項(抜粋):
透過照明手段およびまたは反射照明手段を用いて、XY駆動制御されたXYステージ上の透明な保持板上のビューファインダー用カラーフイルターを撮像し、撮像により得られた信号を画像処理手段により画像処理することにより、欠陥を検出する自動検査装置であって、XYステージを移動させることによって試料を視野に移動させ、透明な保持板上のビューファインダー用カラーフイルターを透過ないし反射照明手段を用いて観察する顕微鏡等の観察手段と、透明な保持板上に複数載せられているビューファインダー用カラーフイルターを容器に移す移載手段と、XYステージ、画像処理手段および移載手段を関連づけて動作制御する制御手段とを備えたことを特徴とするビューファインダー用カラーフイルターの検査装置。
IPC (3件):
G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  H04N 5/225
FI (4件):
G01N 21/88 Z ,  G01N 21/88 J ,  H04N 5/225 B ,  G06F 15/62 400
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 外観検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-029385   出願人:株式会社日立製作所

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