特許
J-GLOBAL ID：200903010629431765
非接触変位計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-067568
公開番号（公開出願番号）：特開平8-261717
出願日： 1995年03月27日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】【目的】 照射レーザ光の状況や被測定試料の表面状態に起因して、スペックルパターンデータのベースラインが傾いていても、スペックルパターンの移動量ひいては変位情報の計測誤差が生じない非接触変位計を提供する。【構成】 イメージセンサ2からの各スペックルパターンデータを、1回微分した後に相互相関関数を演算し、その関数のピーク位置を算出するか、あるいは、イメージセンサ2からの各スペックルパターンデータを用いて相互相関関数を演算した後、その関数を2回微分した後にピーク位置の算出に供することで、スペックルパターンデータのベースラインの傾きにより生じる相互相関関数のベースラインの傾きによる影響が、ピーク位置の算出に影響を及ぼさないようにする。
請求項（抜粋）：
被測定試料にレーザ光を照射するレーザ光照射光学系と、そのレーザ光の被測定試料の表面による散乱光を受光して、その散乱光に含まれるスペックルパターンを検出するイメージセンサと、そのイメージセンサの出力を用いて、2つの異なる時点におけるスペックルパターンデータの相互相関関数を演算し、そのピーク位置を求めることにより、それらの時点間におけるスペックルパターンの移動量を求めて被測定試料の変位情報とする演算手段を備えた変位計において、上記演算手段は、上記各スペックルパターンデータを1回微分してから上記相互相関関数の演算に供するか、もしくは、検出された各スペックルパターンデータを用いて相互相関関数を演算した後、得られた相互相関関数を2回微分してからピーク位置を求めることを特徴とする非接触変位計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 F
, G01B 11/16 G
