X線分析装置および分析方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山村喜信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-346198
公開番号（公開出願番号）：特開2002-148225
出願日： 2000年11月14日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：

【要約】【課題】広い範囲にわたって微量元素の測定を可能にする安価でコンパクトな蛍光X線分析装置および分析方法を提供する。【解決手段】試料の元素分析を行う蛍光X線分析装置に関する。第1の元素からなる第1のターゲットと、前記第1の元素とは異なる第2の元素からなる第2のターゲットとを備えたX線出射装置1と、前記ターゲットのうちの1つを選択して当該選択したターゲットからの一次X線30を分光素子10に出射できるようにする選択手段6と、前記分光素子10の反射面13上の点Oを中心に前記分光素子10の反射面13と前記X線出射装置1とを1:2の角度比で回転させる駆動装置7と、を設けた。

請求項（抜粋）：

X線を単色化する分光素子と、該分光素子で単色化されたX線を試料に入射させ該試料からのX線を検出するX線検出器とを備え、該X線検出器による検出結果に基づいて前記試料の分析を行うためのX線分析装置において、第1の元素からなる第1のターゲットと、前記第1の元素とは異なる第2の元素からなる第2のターゲットとを備えたX線管と、前記ターゲットのうちの1つを選択して当該選択したターゲットからの一次X線を前記分光素子に出射できるようにする選択手段と、前記分光素子の反射面上の点を中心に前記分光素子の反射面と前記X線管とを1:2の角度比で回転させる駆動装置とを設け、前記いずれのターゲットを選択した場合にも、前記分光素子から前記試料に入射するX線の光路が変動しないように設定されているX線分析装置。

IPC (2件)：

G01N 23/223 , G01N 23/207

FI (2件)：

G01N 23/223 , G01N 23/207

Fターム (14件)：

2G001AA01 , 2G001AA09 , 2G001BA04 , 2G001BA18 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001EA01 , 2G001GA01 , 2G001GA13 , 2G001JA01 , 2G001JA05 , 2G001JA11 , 2G001JA20 , 2G001KA01

引用特許：

審査官引用 (6件)

全反射蛍光X線分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-062261 出願人：セイコー電子工業株式会社
全反射蛍光X線分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-022801 出願人：セイコー電子工業株式会社
特開平1-156646

全件表示

前のページに戻る