線状X線検出器を備えたX線回折装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：横川邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-175206
公開番号（公開出願番号）：特開平11-006806
出願日： 1997年06月16日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：

【要約】【課題】特定の試料に対してX線カウンタを固定させて行う試料限定測定及び連続X線回折図形を得ることを目標としてX線カウンタを走査回転移動させて行う連続高分解能測定の両方を自由に選択して行うことができるX線回折装置を提供する。【解決手段】線状範囲内で位置分解能を備えたCCDX線検出器7と、検出器機能切替え装置6とを有するX線回折装置である。機能切替え装置6は、CCD検出器7の位置を次の2つの位置、すなわち回折X線のデバイ環Qの接線方向をX線検出範囲とする零次元測定位置Pと、デバイ環Qの半径方向をX線検出範囲とする一次元測定位置Lとの間で検出器7の位置を切り替える。零次元測定位置Pに置かれたCCD検出器7は、2θ回転しながらX線強度を検出し、一次元測定位置Lに置かれた検出器7は固定状態でX線強度を検出する。

請求項（抜粋）：

試料にX線を照射し、その試料で回折した回折X線の強度をX線検出器によって検出するようにしたX線回折装置において、線状範囲内で位置分解能を備えた線状X線検出器と、その線状X線検出器の配設位置を切り替える検出器機能切替え手段とを有し、その検出器機能切替え手段は、回折X線のデバイ環の接線方向をX線検出範囲とする零次元測定位置と、回折X線のデバイ環の半径方向をX線検出範囲とする一次元測定位置との間で、上記線状X線検出器の配設位置を切り替えることを特徴とする線状X線検出器を備えたX線回折装置。

IPC (4件)：

G01N 23/207 , G01T 1/18 , G01T 1/24 , G21K 1/06

FI (4件)：

G01N 23/207 , G01T 1/18 D , G01T 1/24 , G21K 1/06 G

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭57-044841
特開昭57-044841

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