特許
J-GLOBAL ID：200903010632137061
ウェーハの洗浄方法およびその装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-089084
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291224
出願日： 1992年04月09日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハを洗浄するに際し、洗浄液の組成変化や劣化が発生せず、効果的にウェーハを洗浄することのできるウェーハの洗浄方法およびその装置を提供すること。【構成】 多種類の薬液をそれぞれ独立に加熱し、各薬液を混合して、ウェーハに液滴として吹付けることを特徴とするウェーハの洗浄方法および各薬液供給源1,2と、各薬液をそれぞれ独立に加熱する薬液加熱槽3,4と、加熱された各薬液を混合する混合器9と、該混合器中の混合された薬液をウェーハに吹き付ける吹付器10とよりなることを特徴とするウェーハの洗浄装置により上記目的は達成される。
請求項（抜粋）：
多種類の薬液をそれぞれ独立に加熱し、加熱した各薬液を混合して、ウェーハに液滴として吹付けることを特徴とするウェーハの洗浄方法。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/02
