特許
J-GLOBAL ID:200903010638363560
清浄試料採取装置及びこれを使用する設備表面の清浄値測定方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐田 守雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-175890
公開番号(公開出願番号):特開2000-009607
出願日: 1998年06月23日
公開日(公表日): 2000年01月14日
要約:
【要約】【課題】 清浄試料を各異なる対象物について、それぞれに最適な拭取圧力でばらつきなく、すべて拭き取ることができる清浄試料採取装置と、清浄試料に基づく清浄度の測定が、作業員の目視によって行われることがなくて、肉眼で判別できない微量の付着物を、正確に測定することができる洗浄度の測定方法とを提供する。【解決手段】 設備の清浄度の測定方法における清浄試料採取装置であって、中空外筒と、この中空外筒内に上下動可能に配置された内筒とを有し、中空外筒内には内筒を常時下方に付勢する付勢部材が設けられ、中空外筒の上部には付勢部材の付勢力を所定圧力に設定する圧力設定手段が設けられ、内筒の底面には拭取基材が着脱可能に装着される。
請求項(抜粋):
中空外筒と、この中空外筒内に上下動可能に配置された内筒とを有し、中空外筒内には内筒を常時下方に付勢する付勢部材が設けられ、中空外筒の上部には付勢部材の付勢力を所定圧力に設定する圧力設定手段が設けられ、内筒の底面には拭取基材が着脱可能に装着されることを特徴とする清浄試料採取装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N 1/04 V
, G01N 21/35 Z
Fターム (9件):
2G059AA01
, 2G059AA02
, 2G059BB05
, 2G059CC04
, 2G059CC20
, 2G059DD03
, 2G059DD12
, 2G059DD15
, 2G059HH01
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