特許
J-GLOBAL ID:200903010639629601

全反射減衰型光学プローブおよびそれを用いた水溶液分光測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 山田 卓二 ,  田中 光雄 ,  石野 正弘 ,  川端 純市
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-058895
公開番号(公開出願番号):特開2008-224240
出願日: 2007年03月08日
公開日(公表日): 2008年09月25日
要約:
【課題】180nm以下の遠紫外域で水などの分光測定を容易に行えるようにする。【解決手段】全反射減衰型光学プローブは、遠紫外域で光透過特性を有する光学材料からなり、サンプルと接する接触面と、サンプルと接触しない入射面および出射面とを備えるプリズムと、開口部を備える支持部材であって、開口部の近傍で前記プリズムの接触面と気密に接合される支持部材とからなる。接触面、入射面および出射面は、入射面を透過した光が臨界角より大きい入射角で接触面に入射し、接触面で全反射する光が出射面を出ていくように配置される。【選択図】図2
請求項(抜粋):
遠紫外域で光透過特性を有する光学材料からなり、サンプルと接する接触面と、サンプルと接触しない入射面および出射面とを備えるプリズムと、 開口部を備える支持部材であって、前記開口部の近傍で前記プリズムの接触面と気密に接合される支持部材と からなり、 前記接触面、前記入射面および前記出射面は、前記入射面を透過した光が臨界角より大きい入射角で前記接触面に入射し、前記接触面で全反射する光が前記出射面を出ていくように配置される、全反射減衰型光学プローブ。
IPC (1件):
G01N 21/27
FI (1件):
G01N21/27 C
Fターム (13件):
2G059AA01 ,  2G059BB04 ,  2G059EE02 ,  2G059GG10 ,  2G059HH03 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ21 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK01 ,  2G059MM12
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (7件)
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