特許

J-GLOBAL ID：200903010651139687

X線透過検査方法及び装置

発明者： 間瀬 精士
出願人/特許権者： 株式会社マック・サイエンス
代理人 (1件)： 阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-053240
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249664
出願日： 1999年03月01日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 特に検査対象物の内部構造の寸法を非破壊的に正確に測定することができるX線透過検査方法及び装置を提供する。【解決手段】 検査対象物のX線透過像にエッジ検出又は線検出の画像処理をして前記検査対象物の内部構造を反映する線画像を得、該線画像の所望の複数の位置における強度プロファイルに内挿処理をすることによって、該線画像の解像度以上の解像度で前記検査対象物の内部構造のそれぞれの位置情報を得、この位置情報に基づいてこれら複数の位置間の距離を求める。

請求項（抜粋）：

検査対象物のX線透過像にエッジ検出又は線検出の画像処理をして前記検査対象物の内部構造を反映する線画像を得、該線画像の強度プロファイルに内挿処理をすることによって、該線画像の解像度以上の解像度で前記検査対象物の内部構造の特定の位置情報を得ることを特徴とするX線透過検査方法。

IPC (3件)：

G01N 23/04 ,  G01B 15/00 ,  G01B 15/04

FI (3件)：

G01N 23/04 ,  G01B 15/00 A ,  G01B 15/04

Fターム (34件)：

2F067AA03 ,  2F067AA04 ,  2F067AA16 ,  2F067AA25 ,  2F067AA54 ,  2F067AA67 ,  2F067EE04 ,  2F067HH04 ,  2F067KK06 ,  2F067LL16 ,  2F067NN04 ,  2F067PP12 ,  2F067RR12 ,  2F067RR20 ,  2F067RR36 ,  2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA08 ,  2G001DA09 ,  2G001FA06 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA13 ,  2G001HA01 ,  2G001HA07 ,  2G001HA13 ,  2G001JA06 ,  2G001JA13 ,  2G001KA03 ,  2G001LA05 ,  2G001PA11