特許
J-GLOBAL ID：200903010652289216
ガラス膜付基板及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
松本 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-116310
公開番号（公開出願番号）：特開平5-301787
出願日： 1991年05月21日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：
【要約】【目的】5μm以上の膜厚の透明ガラス膜を基板上に容易に成膜することを可能とする。【構成】溶剤で希釈した金属アルコキシド溶液6と水4とを同一容器1に入れて所定時間放置することにより該溶液6と水4との界面にウエット状のゲル膜5を形成し、その後容器底部から上記溶液6及び水4を徐々に排出して容器1内の底部近傍に設置した基板2上にゲル膜5を静置し、該ゲル膜5を乾燥させたのち電気炉9内で焼結させて基板2の表面に透明ガラス膜10を形成するようにしたことを特徴としている。
請求項（抜粋）：
金属アルコキシド溶液と水との界面に形成されたウエット状のゲル膜を基板表面に静置した状態で乾燥させたのち焼結させることにより該基板表面に密着した透明ガラス膜が形成されていることを特徴とするガラス膜付基板。
IPC (5件)：
C04B 41/86
, B01J 19/00
, C03C 17/25
, C03C 17/34
, H01L 21/316
