特許

J-GLOBAL ID：200903010657016005

耐酸化被覆層の製造方法

発明者： 尾花 健 ,  藤原 徹男 ,  稲垣 正寿
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 鵜沼 辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-313032
公開番号（公開出願番号）：特開平10-140347
出願日： 1996年11月08日
公開日（公表日）： 1998年05月26日
要約：

【要約】【課題】 耐熱金属からなる基材の耐酸化性を向上させる耐酸化被覆層の製造方法を提供する。【解決手段】 本発明の方法は、一例としてNb-24%Al-4%Mo(原子%)の組成を有する金属間化合物Nb3Al基合金からなる基材101表面に、蒸着材料のIr-5〜52%Al(原子%)合金を電子ビームにより適宜条件(蒸着速度)で真空蒸着すると同時に、Alイオン発生材料としてAlCl3を用い質量分離器を介してAlイオンを適宜条件(加速エネルギー、電流密度)で照射することにより、原子数でIr:Al=7:3の合金でなり融点2000°C以上の被覆層103を1〜500μm厚さで形成する。

請求項（抜粋）：

耐熱性金属材料からなる基材表面にIrを真空蒸着すると同時にAlイオン照射を行い、前記基材表面にIr-Al合金からなる被覆層を形成することを特徴とする耐酸化被覆層の製造方法。

IPC (3件)：

C23C 14/48 ,  C23C 14/14 ,  C23C 14/22

FI (3件)：

C23C 14/48 D ,  C23C 14/14 D ,  C23C 14/22 Z