特許

J-GLOBAL ID：200903010661575981

感光性樹脂組成物

発明者： 大熊 典夫 ,  宮川 昌士
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-271559
公開番号（公開出願番号）：特開平5-107756
出願日： 1991年10月19日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：

【要約】【目的】 ポリ-P-ヒドロキシスチレン系レジストを用い、耐熱性を有し、厚膜にてもクラックが発生せず高い解像性を実現できるポジ型感光性材料を提供すること。【構成】 ポリ-P-ヒドロキシスチレン、ナフトキノンジアジド化合物及び重量平均分子量が20000以上の水あるいはアルカリ溶解性の高分子化合物を含有させてポジ型感光性樹脂組成物を調製する。

請求項（抜粋）：

ポリ-P-ヒドロキシスチレン、ナフトキノンジアジド化合物及び重量平均分子量が20000以上の水あるいはアルカリ溶解性高分子化合物を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/06