特許

J-GLOBAL ID：200903010664890241

半導体装置、半導体ゲートアレイおよび電気光学装置および電子機器

発明者： 山崎 泰志
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-089579
公開番号（公開出願番号）：特開2001-094114
出願日： 2000年03月28日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】 絶縁体層上の半導体層に形成された半導体装置において15V程度の駆動電圧でもMOSトランジスタの余剰キャリア引抜き領域とソース領域およびドレイン領域との間の接合耐圧を低下させることなく寄生バイポーラ効果を抑制する構造を提供する。【解決手段】 ソース・タイ構造のMOSトランジスタにおいて余剰キャリアを引き抜く領域11とソース領域およびドレイン領域4、5の間に不純物濃度の低い半導体領域30を形成することにより、引き抜き領域11とソース領域およびドレイン領域4、5との間の接合耐圧を高め、引き抜き領域11とソース領域およびドレイン領域4、5との間で破壊すること無く寄生バイポーラを抑制する。

請求項（抜粋）：

少なくとも表面が絶縁性を有する支持基板と、該支持基板表面に形成された半導体層と、該半導体層に形成されたMOSトランジスタと、を含む半導体装置であって、前記MOSトランジスタが、前記支持基板表面に形成された第1導電型のチャネル領域と、前記チャネル領域を挟むように前記支持基板表面に形成された第2導電型のソース領域およびドレイン領域と、前記チャネル領域上に形成された第2の絶縁体層と、該第2の絶縁体層上に形成された電極とを備えている半導体装置において、前記ソース領域およびドレイン領域のうちの少なくともいずれか一方の前記チャネル幅方向における少なくとも一方の端部に前記チャネル長方向において沿うように前記支持基板表面に設けられた第1の半導体領域と、前記第1の半導体領域に沿うように前記第1の半導体領域を前記ソース領域またはドレイン領域とで挟むようにして前記支持基板表面に設けられた第1導電型の第2の半導体領域とを有しており、前記第2の半導体領域は、前記チャネル領域より不純物濃度が高くされており、前記第1の半導体領域は、前記ソース領域およびドレイン領域よりも不純物濃度が低く、且つ、前記第2の半導体領域よりも不純物濃度が低いことを特徴とする半導体装置。

IPC (6件)：

H01L 29/786 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 27/118 ,  H01L 21/336 ,  H04N 9/31

FI (8件)：

G09F 9/30 338 ,  H04N 9/31 B ,  H01L 29/78 626 B ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/82 M ,  H01L 29/78 613 A ,  H01L 29/78 616 A ,  H01L 29/78 618 F

Fターム (72件)：

2H092GA29 ,  2H092JA24 ,  2H092JA31 ,  2H092JA32 ,  2H092JA46 ,  2H092KA03 ,  2H092KA04 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  2H092PA01 ,  2H092PA06 ,  2H092PA07 ,  2H092PA08 ,  2H092PA10 ,  2H092PA11 ,  2H092QA07 ,  2H092QA10 ,  5C060AA00 ,  5C060BA03 ,  5C060BA04 ,  5C060BA09 ,  5C060BB01 ,  5C060BC01 ,  5C060EA02 ,  5C060GA02 ,  5C060HC01 ,  5C060HC16 ,  5C060HC21 ,  5C060HC24 ,  5C060JB06 ,  5C094AA21 ,  5C094AA53 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094DA13 ,  5C094EB01 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5F064AA03 ,  5F064BB40 ,  5F064CC09 ,  5F064CC12 ,  5F064CC30 ,  5F064GG01 ,  5F110AA13 ,  5F110AA15 ,  5F110AA24 ,  5F110BB02 ,  5F110BB03 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110EE31 ,  5F110GG02 ,  5F110GG12 ,  5F110GG13 ,  5F110GG24 ,  5F110GG28 ,  5F110GG29 ,  5F110GG32 ,  5F110GG60 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ13 ,  5F110HM15 ,  5F110NN62 ,  5F110NN66 ,  5F110NN72 ,  5F110NN80