特許
J-GLOBAL ID：200903010665344860
レーザマーキング装置及びそのレーザマーキング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田澤 博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-279798
公開番号（公開出願番号）：特開平6-312281
出願日： 1993年11月09日
公開日（公表日）： 1994年11月08日
要約：
【要約】【目的】 高速で品質の高いマーキング加工を効率よく行うことができ、かつ、段取替えが少なくコンパクト化を図ることを目的とする。【構成】 外形が同形に形成された搬送パレット11はデバイス1がX-Y方向と高さ方向に位置決めされる複数の受部10を備えている。そして、多種のトレイ2から搬送パレット11にデバイス1を詰替えて、この搬送パレット11を滑走路12に配置する。搬送手段13は搬送パレット11を搬送し、搬送パレット11のデバイス1をマーキング位置5や洗浄位置に位置決めする。これにより、搬送パレット11に収納された状態のデバイス1をマーキング加工や洗浄することができる。
請求項（抜粋）：
被加工物を水平方向及び垂直方向に位置決めする受部が形成された搬送パレットであって、ローダ位置においてトレイに載置された前記被加工物が前記受部に詰替え収納され、アンローダ位置において前記受部に収納された被加工物が空のトレイに詰替えられる搬送パレットと、前記ローダ位置とアンローダ位置間に伸長され、前記搬送パレットが滑走する滑走路と、該滑走路において前記搬送パレットに連結する搬送爪を有し、該搬送爪を介して前記ローダ位置からアンローダ位置まで搬送パレットを搬送すると共に前記搬送パレットの受部に収納された被加工物をマーキング位置に位置決めする搬送手段と、前記ローダ位置とアンローダ位置間に配設され、前記マーキング位置に位置決めされた前記被加工物にレーザ光を照射してマーキング加工するレーザ本体と、前記マーキング加工された被加工物が空のトレイに詰替えられて空になった前記搬送パレットを前記アンローダ位置からローダ位置に供給する供給手段とを備えたレーザマーキング装置。
IPC (3件)：
B23K 26/00
, B23K 26/08
, H01L 23/00
