物品熱処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：谷川昌夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-144095
公開番号（公開出願番号）：特開平7-012468
出願日： 1993年06月16日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：

【要約】【目的】装置設置面積を節約でき、熱処理槽内の温度乱れが少なく、例えば窒素ガス導入による無酸化雰囲気等も維持し易く、被処理物が例えば板状体のような場合でも、熱処理槽内の容積を有効に利用して大量に処理することができ、それだけランニングコストを低く抑えることができる物品熱処理装置を提供する。【構成】熱処理槽1A内の物品搬入口11に近い空間部及び物品搬出口12に近い空間部のそれぞれに物品支持パレット2を縦方向に積み重ね、第1及び第2のパレット支持部材3A、30A、第1及び第2のパレット昇降部材4A、40A、上側のパレット横移動部材5A、及び下側のパレット横移動部材6Aにより各パレットを搬入口11に臨む位置から順次上昇、横移動、下降及び戻し横移動させることで循環させ、搬入口11に臨むパレットへは被処理物を搬入部材7A及び第1の受け取り部材8Aにより支持させ、搬入口12に臨むパレットからは搬出部材70A及び第2の受け取り部材80Aにより処理済みパレットを取り出す物品熱処理装置。

請求項（抜粋）：

一側部に物品搬入口を、他側部に物品搬出口を有する熱処理槽と、被処理物を支持したまま積み重ね可能の複数の物品支持パレットと、前記物品搬入口及び物品搬出口に臨む前記熱処理槽内の空間部のそれぞれにおける定位置で前記パレットを複数段に積み重ねた状態で支持するパレット支持位置又はそれから後退した後退位置をとることができる第1及び第2のパレット支持部材と、前記物品搬入口に臨む位置に配置される空のパレットを上昇させるとともに被処理物を掬い上げさせ、それより上方の、前記第1パレット支持部材に支持されるパレット群に下から重ねることができ、該第1パレット支持部材による支持に代わって自ら縦パレット群を支持し、昇降させることもできる第1のパレット昇降部材と、前記第1パレット昇降部材により支持される縦パレット群のうち上部のパレットから、前記物品搬出口に臨む位置の上方へ横移動させる上側の横移動部材と、前記第2パレット支持部材による支持に代わって自ら縦パレット群を支持し、昇降させることができる第2のパレット昇降部材で、前記上側横移動部材により送られてくるパレットを、それより下方のパレット群上に重ねて受けとることができ、該縦パレット群のうち下部のパレットを、それより上側のパレット群が前記第2パレット支持部材により支持される状態で前記物品搬出口に臨む位置へ下降せることもできる第2のパレット昇降部材と、前記物品搬出口に臨む位置へ降ろされて被処理物を除去されたあとの空パレットを前記物品搬入口に臨む位置へ移動させる横移動部材で、前記上側の横移動部材と同じ方向に連動移動する下側の横移動部材と、前記物品搬入口に臨み、前記第1パレット昇降部材により前記下側の横移動部材から持ち上げられて支持される空パレットの上方に前記物品搬入口から被処理物を搬入する搬入部材で、前記横移動部材と同方向に連動して前記熱処理槽に出入する搬入部材と、前記搬入部材により搬入されてきた被処理物を、上昇動作により一時的に受け取り、前記搬入部材の出退後に下降して前記空パレットに支持させる昇降可能の第1の受け取り部材と、前記物品搬出口に臨む位置へ降ろされてくるパレットから、上昇動作により一時的に被処理物を受け取る部材で、前記第1受け取り部材と連動昇降する第2の受け取り部材と、前記第2受け取り部材に支持され、下降せしめられる被処理物を受け取り、前記物品搬出口から搬出する搬出部材で、前記搬入部材と同方向に連動して前記熱処理槽に出入する搬出部材と、前記熱処理槽外において被処理物を支持し、下降動作により前記搬入部材上に載置する昇降可能の物品載置用部材と、前記熱処理槽外において、前記搬出部材により搬出されてくる被処理物を上昇動作により持ち上げる昇降可能の除去部材とを備えたことを特徴とする物品熱処理装置。

IPC (9件)：

F27B 9/26 , B65G 1/127 , B65G 47/52 , F27D 3/12 , G01R 31/26 , G01R 31/28 , G01R 31/30 , H01L 21/324 , H01L 21/66

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