特許

J-GLOBAL ID：200903010673012168

熱線式マイクロヒータ

発明者： 井出 卓宏 ,  菊地 啓 ,  中村 健一
出願人/特許権者： 東京瓦斯株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-206505
公開番号（公開出願番号）：特開平8-069858
出願日： 1994年08月31日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：

【要約】【目的】 製造プロセスが簡単で高温の熱サイクルを受けても熱線部の機械的疲労が小さくて寿命の長い熱線式マイクロヒータを提供すること。【構成】 半導体微細加工技術を用いて半導体基板に形成した張り出し部上に熱線を形成してなる熱線式マイクロヒータにおいて、前記張り出し部を、耐熱性および熱線の熱膨張率に極めて近い熱膨張率を有する材料で構成するようにした。

請求項（抜粋）：

半導体微細加工技術を用いて半導体基板に形成した張り出し部上に熱線を形成してなる熱線式マイクロヒータにおいて、前記張り出し部を、耐熱性および熱線の熱膨張率に極めて近い熱膨張率を有する材料で構成したことを特徴とする熱線式マイクロヒータ。

IPC (6件)：

H05B 3/12 ,  G01F 1/68 ,  G01N 27/12 ,  G01N 27/16 ,  G01P 5/12 ,  H05B 3/20 328