特許

J-GLOBAL ID：200903010677014157

被検出材の微小欠陥検出方法及び装置

発明者： 矢追 臣知
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 溝上 満好 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-252262
公開番号（公開出願番号）：特開平6-074904
出願日： 1992年08月26日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：

【要約】【目的】 被検出材の表面粗さと略同じ高さの検出しようとする微小欠陥を、個人差なく、明瞭に顕在化させて検出する。【構成】 被検出材12を載置してあるステージ11を水平面方向における移動機構によって被検出材12の水平面方向に所定距離だけ移動させつつ、それぞれの位置で焦点法により表面高さ量検出装置15で被検出材12の表面高さを検出する動作を繰り返し行うことで、被検出材12表面の微細形状を3次元で検出し、微小欠陥12bを検出する方法において、表面高さ量検出装置15の焦点範囲を、予め検出したい微小欠陥12bの大きさに設定して被検出材12表面の微細形状を検出し、この検出値に基づいて信号処理装置14で3次元図を作成する。

請求項（抜粋）：

被検出材を載置してあるステージを被検出材の水平面方向に所定距離だけ移動させつつ、それぞれの位置で焦点法により被検出材の表面高さを検出する動作を繰り返し行うことで、被検出材表面の微細形状を3次元で検出し、微小欠陥を検出する方法において、予め検出したい微小欠陥の大きさに焦点範囲を設定して被検出材の微小欠陥を検出することを特徴とする被検出材の微小欠陥検出方法。