特許
J-GLOBAL ID:200903010677687070
TABテープの検査装置における位置決め機構
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
竹内 三郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-130690
公開番号(公開出願番号):特開2001-311607
出願日: 2000年04月28日
公開日(公表日): 2001年11月09日
要約:
【要約】【課題】 位置決め機構をより小さく、簡単なものとするとともに、TABテープの位置決めをより高精度にする。【解決手段】 TABテープ4の位置ズレ量を検出する手段と、位置ズレ量に応じた補正信号を発生する手段と、補正信号に応じてプローブ5を移動する手段とからTABテープの検査装置における位置決め機構を構成する。TABテープ4の位置ズレ量を検出する手段として、モニタ9によりTABテープ4を監視し、画像処理をするものを、補正信号に応じてプローブ5を移動する手段として、ピエゾ素子を採用したアクチュエータ7,8を採用することができる。
請求項(抜粋):
TABテープの検査装置における位置決め機構であって、TABテープの位置ズレ量を検出する手段と、前記位置ズレ量に応じた補正信号を発生する手段と、前記補正信号に応じてプローブを移動する手段とを有することを特徴とするTABテープの検査装置における位置決め機構。
IPC (2件):
FI (2件):
G01B 11/00 H
, G01R 31/02
Fターム (17件):
2F065AA03
, 2F065BB13
, 2F065BB15
, 2F065BB27
, 2F065CC27
, 2F065DD02
, 2F065FF04
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065PP03
, 2F065PP12
, 2F065QQ31
, 2F065TT02
, 2G014AA13
, 2G014AB59
, 2G014AC12
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