特許
J-GLOBAL ID:200903010679446950
熱分解窒化ほう素容器
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山本 亮一 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-292365
公開番号(公開出願番号):特開平5-105557
出願日: 1991年10月11日
公開日(公表日): 1993年04月27日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 本発明は製品への不純物混入を防止し、電気的に安定で熱効率の改良された、化合物半導体製造用、分子線用セルなどに有用とされる熱分解窒化ほう素容器の提供を目的とするものである。【構成】 本発明の熱分解窒化ほう素容器は、熱分解窒化ほう素容器の外面および/または内面の全部または一部に輻射光吸収層を設け、その最外面および/またはその最内面に絶縁層または保護層を設けてなることを特徴とするものである。
請求項(抜粋):
熱分解窒化ほう素容器の外面および/または内面の全面または一部に輻射光吸収層を設け、その最外面および/または最内面に絶縁層または保護層を設けてなることを特徴とする熱分解窒化ほう素容器。
IPC (5件):
C04B 41/89
, B65D 25/14
, B65D 25/34
, C04B 35/58 103
, C30B 15/10
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