特許

J-GLOBAL ID：200903010689083995

基板の保持装置

発明者： 立山 清久 ,  岩崎 達也 ,  松田 義隆
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金本 哲男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-188257
公開番号（公開出願番号）：特開2000-012655
出願日： 1998年06月17日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】 基板上に支持部材の明確な転写跡を残さない基板の保持装置を提供する。【解決手段】 LCD基板Gを搬送する搬送アーム25aに円筒状の基台58を取り付け,基台58の上面から盛り上がるように支持材料59を配置する。支持材料59及びLCD基板Gは接触面60を挟んで互いに接触する。支持材料59とLCD基板Gとの接触部分が分散化するため,LCD基板Gに蓄えられた熱は支持材料59を通じて分散化しながら伝熱する。LCD基板G上に支持ピンの転写跡が残っても,ぼやけて目立たなくなる。

請求項（抜粋）：

基板を支持する支持部材に基板を支持させた状態で,当該基板を保持する基板の保持装置において,前記支持部材の少なくとも上端を,繊維状の材料で構成したことを特徴とする,基板の保持装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/08 ,  B65G 49/06

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B25J 15/08 P ,  B65G 49/06 Z

Fターム (8件)：

3F061BE21 ,  3F061BE43 ,  3F061DB06 ,  5F031BC01 ,  5F031CC12 ,  5F031CC33 ,  5F031KK04 ,  5F031KK06