特許
J-GLOBAL ID:200903010690619742
赤外線検出素子
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小池 隆彌
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-352715
公開番号(公開出願番号):特開平11-183259
出願日: 1997年12月22日
公開日(公表日): 1999年07月09日
要約:
【要約】【課題】 高感度の赤外線検出素子を得る。【解決手段】 LaAlO3基板12上に、複合ペロブスカイト酸化物薄膜La0.65Ca0.35MnO311を形成する。La0.65Ca0.35MnO3薄膜に近接してコイルを設け、コイルから交流磁界を発生させてLa0.65Ca0.35MnO3薄膜に印加し、赤外線の入射によって変化する抵抗値を磁界で変調する。変調された抵抗値を位相を同期して赤外線を検出する構成とする。
請求項(抜粋):
基板上に形成されたマンガン酸化物薄膜からなる赤外線検出部と、該赤外線検出部の両端に配置された電極と、前記赤外線検出部に近接して配置されたコイルとを具備し、かつ、前記コイルから交流磁界を発生させて、該交流磁界を前記赤外線検出部に印加して、赤外線検出部に赤外線が入射した場合に生じる電気抵抗の変化を、該交流磁界の位相と同期させて検出する手段を有することを特徴とする赤外線検出素子。
IPC (3件):
G01J 5/20
, C01G 45/00
, G01J 5/02
FI (3件):
G01J 5/20
, C01G 45/00
, G01J 5/02 C
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