特許

J-GLOBAL ID：200903010690946450

プローブ装置及びプローバー

発明者： 岩元 尚文 ,  杉山 達雄
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-392551
公開番号（公開出願番号）：特開2003-194875
出願日： 2001年12月25日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：

【要約】【課題】 被検査物の電気的テストを良好に行う。【解決手段】 チャック台上の被検査物に対して一面3aを対向させてプローブ装置3を設ける。プローブ装置3の一面3a及びこの一面3aとは反対側を向く他面3bのそれぞれの温度を測定する温度測定装置11と、プローブ装置3の一面3aまたは他面3bもしくは両方の温度を調整する温度調整装置12と、温度測定装置11による一面3a及び他面3bの温度の測定結果に基づいてプローバー1を構成する各部の動作を制御する制御装置13とを設ける。制御装置13を、一面3aと他面3bとの温度差が許容範囲内になるように温度調整装置12の動作を制御するとともに、前記温度差が許容範囲外にある場合にはプローバー1を構成する各部を待機状態にし、前記温度差が許容範囲内にある場合には各部を動作させて被検査物のテストを開始させる構成とする。

請求項（抜粋）：

被検査物の電極に接触させられるプローブを有し、プローバーに組み込まれてその一面側で前記電極に前記プローブを接触させられるプローブ装置であって、前記プローブ装置の前記一面及び該一面とは反対側を向く他面には、それぞれの表面温度を測定する温度測定装置が設けられていることを特徴とするプローブ装置。

IPC (4件)：

G01R 31/26 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01R 31/26 H ,  G01R 31/26 J ,  G01R 1/06 E ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K

Fターム (21件)：

2G003AA07 ,  2G003AB01 ,  2G003AC03 ,  2G003AD01 ,  2G003AG03 ,  2G003AG04 ,  2G003AH04 ,  2G011AA17 ,  2G011AB10 ,  2G011AE03 ,  2G132AA00 ,  2G132AB01 ,  2G132AB14 ,  2G132AD01 ,  2G132AE22 ,  2G132AF20 ,  2G132AL09 ,  4M106AA02 ,  4M106AA20 ,  4M106BA01 ,  4M106DD30