特許

J-GLOBAL ID：200903010692890877

基板センサおよび基板検知方法

発明者： 酒井 浩
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 宮井 暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-165275
公開番号（公開出願番号）：特開2001-345369
出願日： 2000年06月02日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：

【要約】【課題】 半導体製造装置の基板搬送部などに設けられ、基板の有無を認識する基板センサが、基板材質や基板表面の膜の反射率の違いによって誤認識し、基板搬送エラーによって損傷することを防止する。【解決手段】 ウエハWの表面に照射光tを照射する発光素子HとウエハWからの反射光hを受ける受光素子Jを備え、その間に板状の部分的遮蔽板Pを設置する。もし搬送においてウエハWがセンサ取り付け部Sに近づきすぎると遮蔽板Pにより照射光tまたは反射光hを自動的に遮蔽して受光素子Jは反射光hを検知しなくなり、ウエハ無しと判断できる。ウエハの反射率が異なる場合であっても、ウエハが取り付け部Sなどに接触して損傷することがなくなる。

請求項（抜粋）：

基板の一主面上の所定の領域に光を照射する光照射手段と、前記基板の所定領域からの反射光を受ける受光手段と、前記光照射手段と前記受光手段との間に設置され、前記基板が前記光照射手段または前記受光素子に所定距離に近づくと前記照射光または前記反射光を所定の遮蔽量を超えて遮蔽可能であり、かつ前記遮蔽量が調整可能な遮蔽体と、前記受光手段で受けた反射光の受光量が前記所定の遮蔽量に対応する所定の値以上であるとき前記基板有りと判定する判定部とを備えた基板センサ。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

H01L 21/68 L ,  G01B 11/00 A

Fターム (19件)：

2F065AA02 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065DD16 ,  2F065FF44 ,  2F065GG12 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ15 ,  2F065LL30 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ25 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031JA02 ,  5F031JA06 ,  5F031JA22 ,  5F031JA32