特許
J-GLOBAL ID：200903010696062588
インクジェット記録ヘッド、該ヘッド用基板、該基板の製造方法及びインクジェット記録装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-361042
公開番号（公開出願番号）：特開平11-240157
出願日： 1998年12月18日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、省エネルギーと寿命安定性と工程管理の簡便性とを兼ね備えたインクジェット記録ヘッド、及びインクジェット記録装置を提供することを目的とする。【解決手段】 基板11上に、発熱部20を形成する発熱抵抗体13と、配線14と、前記発熱抵抗体と前記配線との上にそれらを保護するために設けられる保護膜とを有する基板上に、インク吐出口に連通するインク路が設けられたインクジェット記録ヘッドであって、前記保護膜が、前記発熱抵抗体と前記配線とを覆う第1層保護膜15と、該第1層保護膜上に該第1層保護膜とは異なる材料で形成され前記発熱部に対応する箇所に開口を有し無機材料からなる第2層保護膜16と、該第2層保護膜と前記開口から露出した前記第1層保護膜とを覆う、前記第1層保護層と同じ材料系の第3層保護膜17とを含む。
請求項（抜粋）：
基板上に、発熱部を形成する発熱抵抗体と、該発熱抵抗体に電気的に接続する配線と、前記発熱抵抗体と前記配線との上にそれらを保護するために設けられる保護膜と、を有するインクジェット記録ヘッド用基板上に、インクを吐出する吐出口に連通するインク路が設けられたインクジェット記録ヘッドであって、前記保護膜が、前記発熱抵抗体と前記配線とを覆う第1層保護膜と、該第1層保護膜上に該第1層保護膜とは異なる材料で形成され前記発熱抵抗体の前記発熱部に対応する箇所に開口を有し無機材料からなる第2層保護膜と、該第2層保護膜と前記開口から露出した前記第1層保護膜とを覆う、前記第1層保護層と同じ材料系の第3層保護膜と、を含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/05
, B41J 2/16
, H01C 7/00
B41J 3/04 103 B
, H01C 7/00 V
, B41J 3/04 103 H
