特許

J-GLOBAL ID：200903010703052399

研磨ヘッド及び研磨装置

発明者： 高橋 陽介 ,  石川 彰 ,  松川 英二
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-140289
公開番号（公開出願番号）：特開平11-333716
出願日： 1998年05月21日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
要約：

【要約】【課題】 従来のCMP研磨装置は、ウェハを保持した研磨ヘッドを研磨パッドに加圧、且つ相対運動を与えながら研磨した時に被研磨面内に於ける研磨圧力が均一でないため、研磨量の面内均一性が良くないという問題があった。この問題を解決した研磨ヘッド、更には研磨装置を提供することが課題である。【解決手段】ウェハを吸着するバッキングパッドと、ウェハをバッキングパッドを介して固定する保持部とを具え、ウェハの被研磨面の研磨に用いられる研磨ヘッドに於いて、研磨ヘッドが、被研磨面の面内に於ける研磨量を均一にするために、被研磨面に研磨圧の局所的な補正量を与えるための押圧部を具えた。

請求項（抜粋）：

被研磨部材を吸着するバッキングパッドと、前記被研磨部材を前記バッキングパッドを介して固定する保持部とを具え、前記被研磨部材の被研磨面の研磨に用いられる研磨ヘッドに於いて、前記研磨ヘッドが、前記被研磨面の面内に於ける研磨量を均一にするために、前記被研磨面に研磨圧の局所的な補正量を与えるための、押圧部を具えることを特徴とする研磨ヘッド。

IPC (3件)：

B24B 37/04 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24B 37/04 H ,  B24B 37/00 B ,  H01L 21/304 622 K