X線ズームレンズ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：社本一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-540790
公開番号（公開出願番号）：特表2003-515728
出願日： 2000年11月24日
公開日（公表日）： 2003年05月07日
要約：

【要約】X線を集束させるための光学アレイは、プレート(たとえば、ケイ素から製作される)を備えており、このプレート上にはプレートを貫通するチャネルを形成するように一連の同心円状のギャップをエッチングしている。プレート上にX線が入射すると、X線はチャネルの内側から集束点まで反射される。このプレートは拡大率を大きくさせるように湾曲させていることが好ましい。

請求項（抜粋）：

X線に対して不透明なバンドで分離された複数のX線に対して透明なゾーンによりその表面が形成されているプレートを備える光学アレイであって、前記X線に対して不透明なバンドが、線源からのX線ビームを前記プレート上に投射したときに該X線のうちの少なくともある部分を前記バンドの最外側の壁から反射させるような厚さであり、前記プレートを成形して前記プレートを通過するX線を集束できるような湾曲表面を形成させることが可能な制御手段が存在する光学アレイ。

IPC (5件)：

G21K 1/06 , G02B 3/08 , G03F 7/20 503 , G21K 7/00 , H01L 21/027

FI (5件)：

G21K 1/06 C , G02B 3/08 , G03F 7/20 503 , G21K 7/00 , H01L 21/30 531 A

Fターム (7件)：

2H097AA16 , 2H097CA06 , 2H097CA15 , 2H097LA10 , 2H097LA12 , 2H097LA20 , 5F046GB02

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