拡散接合装置及び拡散接合方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：堀田実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-430328
公開番号（公開出願番号）：特開2005-186105
出願日： 2003年12月25日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：

【課題】被接合部材の表面の清浄度を高めることにより、高い接合性を得ることができる拡散接合装置及び拡散接合方法を提供する。【解決手段】本発明の拡散接合装置10は、二つの被接合部材1を拡散接合する拡散接合装置であって、内部に加熱室12を形成する炉体13と、炉体13の内部にそれぞれ突出し、その先端に二つの被接合部材1をそれぞれ保持しこの二つの接合部材1を重ね合わせて押圧する一対のプレスラム15a,15bと、被接合部材1を加熱する加熱手段と、プレスラム15a,15bにより被接合部材1を押圧する前に被接合部材1の表面に気体のグロー放電によるイオンボンバード処理を施すイオンボンバード処理手段と、を備えている。また、本発明の拡散接合方法は、二つの被接合部材1の表面に気体のグロー放電によるイオンボンバード処理を施した後、この二つの被接合部材1を重ね合わせ押圧するとともに加熱して拡散接合する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

二つの被接合部材を拡散接合する拡散接合装置であって、内部に加熱室を形成する炉体と、該炉体の内部にそれぞれ突出し、その先端に前記二つの被接合部材をそれぞれ保持し該二つの被接合部材を重ね合わせて押圧する一対のプレスラムと、前記被接合部材を加熱する加熱手段と、前記プレスラムにより前記被接合部材を押圧する前に当該被接合部材の表面に気体のグロー放電によるイオンボンバード処理を施すイオンボンバード処理手段と、を備える、ことを特徴とする拡散接合装置。

IPC (3件)：

B23K20/00 , B23K20/14 , B23K20/24

FI (3件)：

B23K20/00 310P , B23K20/14 , B23K20/24

Fターム (10件)：

4E067BA00 , 4E067BB02 , 4E067CA01 , 4E067CA02 , 4E067CA03 , 4E067DA05 , 4E067DB01 , 4E067DB03 , 4E067DC01 , 4E067DC05

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平3-56604号公報特
開平10-330804号公報

審査官引用 (6件)

特開昭50-096447
ヒートパイプの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-366233 出願人：エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社, 株式会社エーアンドエー研究所
特開平1-148481

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