特許

J-GLOBAL ID：200903010711988484

照明方法及び照明装置

発明者： 菅沼 洋
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 逢坂 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-130220
公開番号（公開出願番号）：特開平11-326826
出願日： 1998年05月13日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】 光源の個数や光ビームの分割数を最適化し、スペックルのコントラストを十分に低減した光ビームを照明光として利用すること。【解決手段】 N個(但し、Nは1以上の整数である。)の光源10から出射された波数のスペクトラム幅Wのレーザー光をバンドルファイバー12に導くことによってM分割(但し、Mは2以上の整数である。)し、各光ビームに可干渉距離以上の光路差を与えた後、再び光軸を合わせた光ビームによって空間変調器15を照明するに際し、空間変調器15による像を結像する光学系において、空間変調器15上の一点から、それに対応する像上までの光路長差がσZ の標準偏差を有するときに、下記式A【数49】で表される関係を満たすように、前記M及び前記Nを設定する。

請求項（抜粋）：

N個(但し、Nは1以上の整数である。)の光源から出射された光ビームをM分割(但し、Mは2以上の整数である。)し、分割後の光ビームに可干渉距離以上の光路長差を与えた後、各光ビームの光軸を再び合わせ、これによって可干渉性の低減した光ビームを用いて被照明体を照明するに際し、前記被照明体を結像する光学系において、前記被照明体上の一点から、それに対応する像上までの光路長差がσZ の標準偏差を有するときに、下記式A【数1】(但し、前記式Aにおいて、「W」は、前記光源から出射された光ビームの波数のスペクトラム幅である。)で表される関係を満たすように前記M及び前記Nを設定する、照明方法。