特許

J-GLOBAL ID：200903010712830620

露光システム

発明者： 楠本 博
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-318323
公開番号（公開出願番号）：特開2000-133577
出願日： 1998年10月22日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】 露光システムを構成する各装置の空き時間を少なくして露光システムの運用効率を向上させる。【解決手段】 露光装置、レジスト塗布装置および現像装置をインライン接続してなる露光システムにおいて、予め次のロットのレシピおよび被処理基板数を与えられ、このレシピに基づいて被処理基板1枚当たりのレジスト処理、露光処理および現像処理にかかる各予測時間を算出し、前記次のロットの処理を開始するに当たり、これらの予測時間と前記被処理基板数と現在のロットの処理状態とから次のロットのカセット搬出可能予測時刻を算出するコントローラを設ける。

請求項（抜粋）：

露光装置、レジスト塗布装置および現像装置をインライン接続してなる露光システムであって、予め次のロットのレシピおよび被処理基板数を与えられ、このレシピに基づいて被処理基板1枚当たりのレジスト処理、露光処理および現像処理にかかる各予測時間を算出し、前記次のロットの処理を開始するに当たり、これらの予測時間と前記被処理基板数と現在のロットの処理状態とから次のロットのカセット搬出可能予測時刻を算出するコントローラを具備することを特徴とする露光システム。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 502 G ,  G03F 7/20 521

Fターム (11件)：

5F046AA17 ,  5F046CD01 ,  5F046CD04 ,  5F046CD05 ,  5F046DA29 ,  5F046DD06 ,  5F046JA22 ,  5F046KA01 ,  5F046KA07 ,  5F046LA13 ,  5F046LA18