特許
J-GLOBAL ID：200903010715383714
磁気ヘッドスライダ製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-256665
公開番号（公開出願番号）：特開平8-124138
出願日： 1994年10月21日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】研磨加工を途中で停止することなく、所望のデプス(磁気ギャップ深さ)が得られるよう研磨加工できる磁気ヘッドスライダ製造装置を提供すること。【構成】気体膜を介して浮上するフラット面12aを有し且つフラット面12a側にギャップが開口する薄膜磁気ヘッド20を内蔵する磁気ヘッドスライダ10のフラット面12aを加工して所定の磁気ギャップ深さを得る磁気ヘッドスライダ製造装置において、磁気ヘッドスライダ10を保持するワーク貼付け治具30と、ワーク貼付け治具30に対向して設けられワーク貼付け治具30に保持された磁気ヘッドスライダ10のフラット面12aを研磨するラップ盤40と、ワーク貼付け治具30に取り付けられ且つ先端が磁気ギャップ深さδを示すストッパ31,32と、ストッパ31,32のラップ盤40への接触を検出するトルクメータ40aとを具備している。
請求項（抜粋）：
気体膜を介して浮上する浮上面を有し且つ上記浮上面側にギャップが開口する薄膜磁気ヘッドを内蔵する磁気ヘッドスライダの上記浮上面を加工して所定の磁気ギャップ深さを得る磁気ヘッドスライダ製造装置において、前記磁気ヘッドスライダを保持する保持治具と、前記保持治具に対向して設けられ上記保持治具に保持された前記磁気ヘッドスライダの前記浮上面を研磨するラップ盤と、前記保持治具に取り付けられ且つ先端が前記磁気ギャップ深さを示すストッパと、前記ストッパの前記ラップ盤への接触を検出する接触検出手段とを具備することを特徴とする磁気ヘッドスライダ製造装置。
IPC (4件)：
G11B 5/60
, B24B 37/04
, G11B 5/187
, G11B 5/31
