特許
J-GLOBAL ID：200903010720226635
物理的蒸着プロセスにおける作業雰囲気を高純度化するためのゲッタシステム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-364353
公開番号（公開出願番号）：特開平11-324915
出願日： 1998年12月22日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：
【要約】【課題】 物理的蒸着プロセスにおける作業帯域での気体雰囲気を高純度化するためのゲッタシステムの提供。【解決手段】 作業帯域に挿入される一つ乃至複数の実質上平面状のゲッタ装置(26、26)から形成され、ゲッタ装置は作業帯域を構成するスクリーン(20、20’)に対して実質上平行でかつ離間され、ゲッタ装置とスクリーンとの間のスペース(25)が作業帯域に連通するよう配列され、ゲッタ装置は少なくともスクリーンに面する表面(28)がゲッタ材料(29)から作製されているゲッタシステム(24)。ゲッタ装置は、ゲッタ材料単独から作製された塊体としてまた金属支持体上にゲッタ材料を付着して構成されうる。
請求項（抜粋）：
物理的蒸着プロセスにおける作業帯域(21)の気体雰囲気を精製するためのゲッタシステム(24)にして、前記作業帯域に挿入される一つ乃至複数の実質上平面状のゲッタ装置(26、26’・・・;35;45;60)から形成され、その場合該ゲッタ装置は前記作業帯域を構成するスクリーン(20、20’・・・)に対して実質上平行でありかつ離間されそして前記ゲッタ装置とスクリーンとの間のスペース(25)が該作業帯域に連通されるように配列され、該ゲッタ装置は少なくともスクリーンに面する表面(28)がゲッタ材料(29)から作製されていることを特徴とするゲッタシステム。
IPC (4件)：
F04B 37/02
, C22C 16/00
, C23C 14/00
, G11B 7/26
F04B 37/02 A
, C22C 16/00
, C23C 14/00 B
, G11B 7/26
